ผลต่างระหว่างรุ่นของ "ไมโครเทคโนโลยี"

 

== แหล่งข้อมูลอื่น ==

* [http://www.mindspring.com/~volant/_html/22SensorChronology.html An Early History of Silicon Sensors]

* [http://www.memx.com/products.htm Image Gallery of Microscopic MEMS Machines]